GRETSI'03 19st GRETSI Symposium
on Signal and Image Processing

Paris   8 - 11 september 2003

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Title
Segmentation d'images de semiconducteur pour la détection de défauts
Author(s)
Pierrick Bourgeat Oak Ridge National Laboratory
Fabrice Meriaudeau Laboratoire Le2i
Kenneth W. Tobin Oak Ridge National Laboratory
Rererences
vol. II, page 315
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Abstract

Ce papier présente un algorithme de segmentation adapté aux images de semiconducteur. Le but principal de ce travail est la segmentation d'images pour une sélection automatique du niveau de seuillage pour l'inspection « die-to-die » de wafer électronique. La segmentation est basee sur la transformée en ondelettes et l'utilisation du classifeur de polytopes de contraintes.

Edition : Télécom-Paris -- 2003